- 전용 대물렌즈를 통한 반경 17um ~ 70um 영역의 반사율 측정

Peak Valley 방법
퓨리에 변환 방법
Curve Fit 방법
| 모델 | USPM-RU-W |
|---|---|
| 측정기능 | 반사율, 막두께, 색측정 / 옵션: 투과율, 입사각 45도 반사율 |
| 측정 파장 | 380nm ~ 1,050nm |
| 반사율 반복성(3σ) | 10x , 20x : ±0.02% 이하(430-1010nm) / ±0.2% 이하( 상기 외) |
| 40x : ±0.05% 이하(430-950 nm) / ±0.5% 이하(상기 외) | |
| 투과율 / 45도 반사성 반복성 | ±0.3% 이하(430-1010nm) / ±1.0% 이하(상기 외) |
| 모델 | USPM-OB10X | USPM-OB20X | USPM-OB40X |
|---|---|---|---|
| 배율 | 10x | 20x | 40x |
| NA | 0.12 | 0.24 | 0.24 |
| 측정 영역 | 70um | 34um | 17um |
| 초점 거리 | 14.3mm | 4.2mm | 2.2mm |
| 시료 곡률 반경 | ±5mm ~ | ±1mm ~ | ±1mm ~ |
| 측정 가능 두께 | 1mm 이상 | 0.5mm 이상 | 0.2mm 이상 |