- 5um 이하의 고정밀 Stage Navigation 기능으로 더블 클릭으로 위치 이동
- 동급 유일 5축 모터 스테이지 장착으로 사용상 편리성 증대
제품정보
전자현미경
Tabletop Scanning Electron Microscope
SNE-Alpha
Resolution
5nm
Magnification
250,000x
Measurement
2D 측정 / 성분분석
주요특징
1 동급최고 Stage Navigation 기능
2 보다 빠른 샘플 준비 시간
- Vacuum : 90sec, Vent : 15sec
- 기존 모델 대비 50% 감소
3 사용자 편의 기능
- Navigation 이미지 자동 캡쳐
- 도어 담힘 시 자동 진공 설정
4 New 3세대 소프트웨어 탑재
- Auto focus 기능개선
- Auto Gun Align 기능 추가
5 대면적 Scan과 3D 랜더링
6 EDS system
7 Ion Sputter Coater
시료에 금속(Au/Pt) 박막을 입혀 전도성을 부여 해주는 전처리 장비로 전도성이 증가된 시료 표면에 발생되는 2차 전자의 양을 증가시켜 선명한 영상을 획득할 수 있습니다. 비전도성 샘플은 Ion Sutter Coater 구비가 필요합니다.
Au Coating
Non Coating주요사양
| 모델 | ALPHA | |
|---|---|---|
| Total Magnification | 30x ~ 250,000x | |
| Accelerating Voltage | 1 / 5 / 10 / 15 / 20 / 30 kv (6 step) | |
| Resolution | 5 nm (30 kv, SE) | |
| Electron Source | Pre-centered Tungsten filament cartridge | |
| Detector | Standard : Secondary Electron (SEI) Optional : Back scattered Electron (BSE) |
|
| Stage System | Standard : X, Y, R, T, Z Fully Motorized system | |
| Stage traverse | X, Y : 40 mm / R : 360°, Z : 0 ~ 40 mm / T : -45 ~ 90° | |
| Max. Sample Size | Up to 80 mm (Diameter) Up to 40 mm (Height) |
|
| Vacuum Mode | High / Low (BSE mode) | |
| Vacuum Pump | Rotary Pump + Turbo molecular pump | |
| Size / Weight | SEM | 300(W) X 460(D) X 600(H) mm (78 kg) |
| Control Unit | 256(W) X 220(D) X 90(H) mm (4 kg) | |
| otary Pump | 400(W) X 160(D) X 340(H) mm (24 kg) | |
| Optional Accessories | BSE | Back Scattered Electron Detector |
| EDS | EDS system (Bruker, Oxford, EDAX) | |
| Ion Sputter Coater | Coating Target : Au, Pt | |