휴림글로벌

OLS51000

Resolution

XY: 0.12um Z : 6nm

Magnification

17,280x

Measurement

3D 측정 / 표면 거칠기

주요특징

3D 이미지 관찰 & 측정

nano 단위의 미세관찰

정확도와 반속성 동시 보증

선 & 표면 거칠기 측정

ISO규격에 부합하는 Parameter

긴 거리 및 대면적 거칠기에도 최적화
거칠기 측정에 새로운 기준을 제시

빠른 속도

비접촉 & 비파괴 방식

전처리 필요 없이 샘플을
올려두는 것만으로 빠르게 취득

1 레이져 현미경의장점

1) 서브마이크론 수준에서 3D 관찰 및 측정

2) 표면 거칠기 ISO 25178에 의한 비접촉 표면 거칠기 측정 방식

면적으로 거칠기 측정

선으로 거칠기 측정

2 측정 성능의 보증 : 정확성 및 반복성 모두 보장

측정 도구의 성능은 일반적으로 측정값이 실제 값에 얼마 가까운지를 나타내는
정확도와 반복된 측정값의 변동 정도를 나타내는 반복성으로 표현됩니다.
본 레이져 현미경 시스템은 정확성과 반복성을 보장하므로 측정 결과를
신뢰 할 수 있습니다.

3 분석의 편리성을 증대하여 분석 시간 및 효율 증대

스마트 스캔 (한번 클릭으로 데이터 취득)
분석 템플릿 (반복된 작업의 시간 단축)
Smart Experiment Manager 실험 계획 수립 같은 주요 단계의 자동화
매크로 기능 및 자동 데이터 입력

주요사양

모델		SAF	SMF	LAF	EAF
Total Magnification	Field of View	54x ~ 17,280x
	Field of View	16 μm ~ 5,120 μm
Height Measurement	Display Resolution	0.5 nm
	Repeatability σn-1	10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm
	Accuracy	0.15 + L/100 μm (L : 측정 길이 [μm])
	Accuracy for Stitched Image	10x: 5.0+L/100 μm, 20x 또는 이상 : 1.0+L/100 μm (L : 스티칭 길이 [μm])
	Measurement Noise (Sq Noise)	1 nm [Typ]
Width Measurement	Display Resolution	1 nm
	Repeatability 3σn-1	10x : 0.2μm, 20x : 0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm
	Accuracy	측정값 ± 1.5%
	Accuracy for Stitched Image	10x: 24+0.5Lμm, 20x: 15+0.5Lμm, 50x: 9+0.5Lμm, 100x: 7+0.5Lμm (L: 스티칭 길이)
Stage Configuration	Operating Range	100x100mm	100x100mm	300x300mm	100x100mm
	Operating Range	Motorized	Manual	Motorized	Manual
	Max. Sample Height	100mm	40mm	37mm	210mm

모델별 사이즈

OLS5100-SAF 100mm 전동스테이지

최대 샘플 높이 : 100mm

OLS5100-EAF 100mm 전동스테이지

최대 샘플 높이 : 210mm

OLS5100-LAF 300mm 전동스테이지

최대 샘플 높이 : 37mm

공통 제어 장치 사이즈