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3D 측정 / 표면 거칠기
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단차 측정
선폭 측정
표면거칠기
| 모델 | PA53MET-3D | PA53MET-3D-BD | PA53MET-3D-T | PA53MET-3D-BD-T | |
|---|---|---|---|---|---|
| 광학 시스템 | 광학 시스템 | 무한 광학 시스템(CCIS) | |||
| 조명 | 12V 100W 할로겐 | ||||
| 스테이지 | 4 x 4 inch | ||||
| 대물렌즈 | 5x, 10x, 20x, 50x, 100x | ||||
| 3D Profile Module | Mechanism | 5-Phase Stepping Motor Long Cross-Roller Guide System | |||
| Storke | 30mm | ||||
| Resolution | 0.1μm | ||||
| Repeatability | 0.5 μm | ||||